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高纯度铝溅射靶材 5N铝靶 铝合金靶材 钽靶的用途
浏览: 发布日期:2020-04-07

 

高纯铝靶

产品详情

(1)产品特性:大尺寸细晶高纯铝靶,直接应用于LCD镀膜,LCD的制程上无论是数组基板或是彩色滤光片的制造,皆仰赖溅镀高均匀性与平坦性的薄膜,兴荣源公司可大量供应显示器产业所需的高纯度铝靶(5N Al Target)。纯度:99.99%  99.999%。

(2)产品应用:本产品主要是应用于TFT面板之电极层,材料为高纯度5N铝,在料源的分析及热轧控制的精准度上,均具特别管控来确保产品质量;另一方面随着面板厂的靶材尺寸放大,本公司亦同步提升接合技术以因应客户需求,是国内TFT-LCD产业用大尺寸溅镀靶材制造厂,市场占有率高。

(3)产品常用规格:规格:6*6mm  6*13mm  3*3mm  3*6mm或按照客户要求生产

(4)化学成份以及物理指标(如下图)

(5)产品执行标准:GB/T 3880-2006

产品化学成份以及常用规格

纯度

以下杂质含量不大于(%

Al

Fe

Si

Cr

Ag

Cu

Zn

Mg

杂质总和

99.999%

0.0005

0.0002

0.0001

0.0001

0.0002

0.0001

0.0003

不大于10ppm

99.99%

0.001

0.001

0.001

0.0001

0.0015

0.0005

0.003

不大于100ppm

常用规格:规格:6*6mm  6*13mm  3*3mm  3*6mm或按照客户要求生产

纯度:99.99%  99.999%